平面內諧振式直拉直壓微懸臂梁結構及制備方法專利登記公告

專利名稱：平面內諧振式直拉直壓微懸臂梁結構及制備方法

摘要：本發明提供一種平面內諧振式直拉直壓微懸臂梁結構及制備方法。其中，所述微懸臂梁結構包括：懸臂梁區、連接在所述懸臂梁區一側的質量塊區、及連接在所述懸臂梁區另一側的參考電阻區，其中，所述懸臂梁區包括：相互分離的主懸臂梁、驅動微梁和敏感微梁，其中，驅動微梁作為驅動電阻，與驅動電源連接，敏感微梁作為敏感壓阻，與所述參考電阻區所具有的多個電阻區共同形成電橋；所述驅動微梁與敏感微梁的寬度均遠小于主懸臂梁的寬度。該結構工作在平面內諧振模態，通過激勵微懸臂梁的平面內諧振模態可減少其在液體環境中工作的阻尼力，提高品質因數，進

專利類型：發明專利

專利號：CN201110072710.1

專利申請（專利權）人：中國科學院上海微系統與信息技術研究所

專利發明（設計）人：陶亦涵;于海濤;許鵬程;徐鐵剛;熊斌;李昕欣

主權項：一種平面內諧振式直拉直壓微懸臂梁結構，其特征在于包括：懸臂梁區、連接在所述懸臂梁區一側的質量塊區、及連接在所述懸臂梁區另一側的參考電阻區，其中，所述質量塊區包含金屬薄膜區及分別連接所述金屬薄膜區的兩連接梁；所述懸臂梁區包括：相互分離且與所述質量塊連接的主懸臂梁、與一連接梁相連的驅動微梁及與另一連接梁相連的敏感微梁；其中，用作驅動電阻的驅動微梁與用作敏感壓阻的敏感微梁的寬度均遠小于主懸臂梁的寬度；所述參考電阻區包括多個電阻區，所述多個電阻區與所述敏感微梁共同連接成電橋。

專利地區：上海